半導体ウエハ自動搬送機構

【機械装置名】

半導体ウエハ自動搬送機構

【概要】

検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。

キャリアからウェハを取り出し、プリアライメントで位置補正し、検査部にウェハを供給します。検査後、ウェハを自動退出させ、キャリアの元の位置へウェハを格納します。

除振機構を採用、検査時の振動を防ぎます。

【装置スペック・特徴】 ■FFU（クリーンファンユニット）付、完全密閉型クリーン環境検査。

■除振機構搭載

■ウェハ有無の自動検出機能搭載。

■プリアライメント機構：XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル。

■ウェハ入れ替えタクトタイム：60秒

■陽圧仕様　26.6ｘ10³ Pa程度

■QRコード読み取り機能：ロット情報

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