インプリント装置

つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。

【機械装置名】

インプリント装置

【概要】

つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。

【装置スペック・特徴】

■対象ワーク：材質 シリコン，GaAs，

■サイズ： 最小φ１２．５mm 最大φ１００mm

■固定方法 ：抑え部品により機械的に固定可能とすること

■レプリカモールド：材質 PDMS熱可塑性樹脂

■転写機構部

■駆動源 パルスモータ

■荷重センサ 圧電素子 (分解能1 N)

■荷重 最大 １kN まで設定可能とすること

■荷重設定 パラメータ入力 （最大１KN）

■加圧分解能 0.1 μm

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