ナノインプリントステッパー

【機械装置名】

ナノインプリントステッパー

【概要】

つくば産総研監修のもとに、弊社が製作した装置です。

微細な凹凸が彫られた金型（モールド）を一気にパターンを転写します。

転写後の残膜を薄くできるのが本機の特徴です。

【装置スペック・特徴】

-搭載機構・機能-

■ナノインプリント本体[モールドテーブル]αβ調整モールド機構

■高精度XYθウエハステージ

■ウエハ湾曲機構及びXYステージ

■アライメント顕微鏡×2

■恒温恒湿器

■イオナイザー

■マスフローコントローラ×4(TFP、CTFP、窒素、ヘリウム)]

■UV光源

■デジタルカメラ

-スペック-

■モールドサイズ：□22mm, □50mm, □75mm（有効は70～72mm角）　（石英、厚み6.35mm台形）

■ウエハサイズ： 8インチSiウエハ（厚み725um）、200mm角ガラス基板（厚み0.55~1.2 mm）

■加圧力：10~250N(22mm角49N 0.1MPa, 50mm角250N 0.1MPa, 75mm角0.05MPa)

■平行光のLED-UV光源（365nm　Φ4インチ面積、10mJ/cm2以上）

■アライメント精度：　プリアライメント1μm以下(パターン検出/エッジ検出）、

■精密アライメント100nm以下（モアレ検出）

■アライメント用精密XYステージ：可動領域120×120mm、分解能10nm以下

■アライメント用精密θステージ:可動域、分解能0.25秒以下(0.00007°以下)　

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