ミニマルマスクアライナー4月26日読了時間: 1分更新日：7月30日つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。【機械装置名】ミニマルマスクアライナー【概要】つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。【装置スペック・特徴】■表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。■オリフラ用光学系200万画素カメラ。■XYZアライメント軸分解機能0.1µ。■θ軸分解機能8秒。■露光方式ギャップ0.1µ分解能で任意に設定。■ソフトコンタクト(ロードセル圧力検知)■ハードコンタクト(エアーによる吹上)お問い合わせ製作実績一覧に戻る
