三層丁合装置

【機械名】

三層丁合装置

【機械概要】

フィデューシャルマークが印刷された枚葉フィルムとコア材をクリーニング後、

表裏フィルムと中間コアをCCDカメラを用いて位置決めして丁合する装置

【装置スペック・特徴】

■3台のCCDカメラを用い、表裏と中間コアをXYθ補正。

■3層をカメラ精度(±200μ)で位置決め。

■カートリッジヒーターを使用した粉塵の出ない安定した仮止め。

■枚数管理されたトレー排出機構。

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